近日，陕西省人民政府发布《陕西省 人民政府关于2022年度陕西省科学技术奖励的决定》，由西安电子科技大学牵头的10项成果获奖。其 中，实验室杨银堂教授、张进成教授分别牵头获得技术发明一等奖。
杨银堂教授牵头完成的“硅基三维集成电路关 键技术及应用”项目，该成果对射频/微波系统微型化、高密度、一体化集成的应用需求，系统研究了 硅基三维集成关键技术，提出了高密度异构互连的阻抗匹配、三维电磁耦合及屏蔽、高阶补偿、元件 复用和电路重组等关键技术，解决了三维微波电路的信号完整性、宽频无源器件及电路的硅基微型化 集成、三维电磁兼容及智能重构等难题。所取得的自主创新成果包括三维异构互连、宽带微波电容/电 感等微波无源器件、微米尺寸的硅基微波电路等，直接产品包括大面阵图像传感器、相控阵和弹载微 系统、指纹识别微系统等，实现了国家重大工程和产业化应用，取得了显著的经济效益和社会效益。
张进成教授牵头完成的“微波毫米波二极管” 项目，围绕新一代电子设备对大功率微波毫米波二极管与模块的重大需求，基于第三代半导体氮化镓 材料，开创并建立了新一代氮化镓基大功率微波毫米波限幅核心技术体系，发明了势垒可调凹槽阳极 二极管结构等，解决了高位错缺陷密度氮化镓材料上肖特基二极管可靠性差和漏电大的国际难题，研 制了目前国际最高水平的氮化镓微波毫米波二极管和集成式限幅器。
陕西省科学技术奖是陕西省科技方面的最高层次奖项，代表着陕西科技发展的最高水平。今后，我们 将紧密围绕国家战略需求，充分发挥自身学科优势，努力为实现国家科技自立自强贡献力量！
来源：西安电子科技大学融媒体中心
