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微波功率器件研制设备

        
                            
        功率器件测试系统(power device measurement)                 在片功率测试系统(load pull)
    
   
   

         晶体管老化系统(transistor aging system )                                  台阶仪(profile meter)

       

               原子力显微镜(AFM)                                                        扫描电子显微镜(SEM)

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