中文 | 英文
 
首页实验室概况仪器设备科研团队科学研究合作交流最新消息通知公告
 
仪器设备
 材料生长设备 
 器件分析表征设备 
 测量分析和表征仪器 
 器件生产线及制造设备 
 集成电路设计软硬件支持环境 
 微波功率器件研制设备 
西安电子科技大学微电子学院
中科院半导体所
中科院微电子所
北京大学微电子院
清华大学信息科学技术学院
中科院上海微系统与信息所
西安中为光电科技公司
 
当前位置: 首页 > 仪器设备 > 器件生产线及制造设备
 
器件生产线及制造设备

器件生产线及制造设备

          器件和材料实验生产线,洁净面积为1000平方米,洁净度为1000级(局部100级),设计月处理能力300~600片3寸晶圆。

NIKON I7 步进式光刻机(0.5 µm )

MJB3光刻机(0.8 µm)

PECVD介质沉积设备

RIE反应离子刻蚀机

VPC-1100电子束蒸发台(4靶)

ICP-98C等离子体刻蚀机


          
            
                             Stepper                                                                                     
 ICP


                        
                                   RIE                                                                              Ebeam Evaporator    



                               PECVD                                                                                           

 
 

本网站版权*西安电子科技大学宽带隙半导体国家重点实验室 陕ICP备06007346号 电话:029-88202073 电子邮箱:pjma@xidian.edu.cn 技术支持:西安聚力