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微纳米半导体器件可靠性
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    创新的高可靠槽栅自对准CMOS结构和器件,已经得到推广应用。

          
     槽栅器件的SEM照片 顶视图                         剖面图

 

 槽栅CMOS器件的输出特性                                        槽栅pMOS和nMOS的转移特性

  

    常规nMOS和槽栅nMOS器件的衬底电流             HC应力下槽栅和平面器件的电流退化

Ma Xiaohua,Hao Yue,Sun Baogang,Chinese Physics,2006 15(1)pp:195-198

 

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