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微波功率器件研制设备
2014-04-08 16:41   审核人:
 
          

             等离子体增强化学气象淀积(PECVD)                               接触式光刻机(Aligner)


           

                         快速热退火炉(RTP)                                          双腔反应离子刻蚀机(dual-chamber RIE)

       
                       反应离子刻蚀机(RIE)


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